AMHS，是Automated Material Handling System的缩写，即自动物料搬送系统。一般特指在洁净室环境下，通过软件系统的控制和调度，按照生产系统的指令，实现物料在生产线工序间的自动搬运、缓冲存放的系统。

AMHS具有减少物料的闲置时间、提高无尘室车间的利用率、提高产品良率、减少人员误操作、降低人力成本等诸多优势，现已广泛应用于半导体硅片厂、半导体晶圆制造厂、半导体封装测试厂等领域。

AMHS主要由传送硬件设备、存储设备、软件系统等组成。

（一）传送硬件设备

根据不同晶圆厂的需求，AMHS系统主要分为半自动化和全自动化解决方案。其中，8英寸晶圆制造厂通常采用半自动化解决方案，涉及的传送硬件设备主要有AGV自动导航车、RGV有轨制导车和AMR移动机器人等地面传送设备，负责Intrabay支线的搬运，帮助提高产线自动化程度，从而提高工艺的可靠性，替代容易出错的人工处理工序和运输活动。

12英寸晶圆制造厂现基本采用全自动化解决方案，涉及的传送硬件设备有OHT天车设备。OHT（Overhead Hoist Transport）能够在空中轨道上行驶，并能够通过皮带传动起重机直接进入保管设备或工艺设备的装卸口取放货，应用于工序区内部，也应用于工序区间或工厂间运输。目前在12英寸晶圆制造厂，OHT系统被广泛认定为FAB工厂的主力搬送系统。

OHT

一种自动化搬送装置，能够在空中轨道上行驶，并能够通过皮带传动起重设备直接进入保管设备或工艺设备的装卸口取放货。OHT支持全局（工序区间、工序区内、工厂间）的物流调度，部分应用于8英寸晶圆厂，广泛应用于12英寸晶圆厂。

AGV/AMR/RGV

AGV是指装备有电磁或光学等自动导航装置，能够沿规定导航路径行驶；

AMR本身具备强大的计算能力，可分为激光和视觉语义导航，部署更加简单；

RGV为有轨运行小车；

地面方案AGV/RGV/AMR可以相互配合；在搬运量较小的情况下，AGV/RGV/AMR系统相比天车系统费用更低，在搬运量较大情况下，其费用反而比天车更贵。而且AGV/RGV/AMR存在搬运量上限，会占用洁净间，在12英寸晶圆厂中使用较少。

Tower Lifter

配合半导体FAB制程OHT系统，执行层间FOUP的搬运、装载功能。有些和Tower Stocker融合在一起，兼具晶圆储存功能。

Conveyor

用传送带的方式连续运输晶圆载具，一般架设在空中，根据应用场景需求铺设。

（二）存储设备

存储设备是无尘室的临时存储库，可缩短工艺设备流程结束到下一工艺设备流程开始之间的时间差。存储设备主要包括用于存储载具（晶圆载具Foup、光罩盒Reticle等）的存储柜（Stocker）以及工艺设备流程开始之前的暂时存储设备（NTB）。

Foup Stocker智能晶圆存储设备

用于洁净室内半导体生产工序及工序之间晶圆载具的存储，可与上位系统进行通讯，实现帐料自动管理。根据无尘室可利用空间，灵活定制各类型STK，实现空间最大化。同时可支持Purge功能

Reticle Stocker光罩盒存储设备

用于存放半导体晶圆厂中的光罩盒，可与上位系统进行通讯，实现帐料自动管理，可以通过充入纯净气体，保证光罩品质，从而达到提高晶圆厂整体产品良率的目的

Tower Stocker塔式存储柜

能够进行晶圆盒体跨楼层传送，提升晶圆盒储存空间，并有效活化设备周围可用畸零空间

OHB空中缓存单元

通过将待处理或待转移的晶圆载具在空中进行暂存，减少因等待处理或者转移而造成的设备空闲时间

NTB智能缓存设备

为了匹配机台工艺生产速度，减少机台等待时间，可以通过机台上下料口上方加装设备缓冲存储柜，增设数层缓存区，以提升工艺生产时间短（高进出量）的机台利用率提升，最高可至近100%

（三）软件系统

软件系统是AMHS的核心，通过算法优化可减少闲置传输车、规划最优路线、预防交通拥堵、仿真验证超大规模的自动化控制，实现综合效率最优。

MSC系统是AMHS的中央控制系统，需要对接上层制造CIM（Computer Integrated Manufacturing）半导体工业软件系统，包括MES制造执行系统、RTD实时派工系统、EAP设备自动化系统等，实现搬运指令的下达和实际搬运状态的数据上传。MCS通过对多类别的物料搬运设备控制系统进行统一控制和调度，再由各搬运设备的控制系统分别调度各搬运设备，实现AMHS系统的整体运行，并且MCS可以进行有效率的路径管理与自动化机制设计来排除AMHS异常状况。

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