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半导体AMHS技术发展趋势

2024-01-01

AMHS的起源可以追溯到1980年代为了提高生产效率减少晶圆在不同设备之间的搬运时间,半导体制造商开始研发自动化的物料搬运系统。该系统能够将晶圆从存储位置自动搬运到加工设备,然后再将加工完成的晶圆自动送回到存储位置。

 

众所周知,半导体制造的工序多而复杂设备昂贵对作业环境和物料搬运要求高对设备效率和产品良率非常敏感。自动化物料搬运系统的出现大大提高了半导体制造的生产效率和良率,减少了人力成本和人为失误。随着半导体工业的发展,AMHS逐渐被广泛应用于全球的半导体制造厂。在AMHS的帮助下,半导体制造商可以更好地实现自动化生产和质量控制,提高生产效率和产品良率。

 

同时,伴随着新兴技术的发展,AMHS也体现出以下趋势。

 

(一)AI赋能进一步优化物料搬运流程

随着AI深度学习算法的发展和大模型的快速迭代,为细分领域定制化打造的AI算法或工业大模型在未来有望嵌入到终端应用。在软件系统中引入AI有助于AMHS系统提升定制化服务、人机交互、自适应控制、智能分析与决策、故障预测与维护等能力,从而进一步优化整体物料搬运过程,提升稼动率和产品良率,为客户实现降本增效。


定制化服务


AI可根据客户不同的需求和场景,基于大量实验数据和经验知识,协助工程师进行仿真模拟和优化设计,更快开发出高效节能、结构合理的定制化AMHS解决方案,通过个性化定制,更好满足客户需求,提高市场竞争力


人机交互


通过自然语言的算法处理技术,AI将显著改善人机交互,使操作人员可通过更加直观和自然的语言命令来指挥和监控AMHS设备的运行;


自适应控制


AI将改进AGV等移动设备的路径规划和避障策略,使其在复杂的生产环境中实现更加精准的自主导航,并帮助设备在面临不同工况或突发变化时快速做出调整,以提升整体系统的稳定性和灵活性;


智能分析与决策


AI将通过神经网络训练、处理和分析海量数据后为AMHS设备提供更精确的调度策略,最大程度减少闲置设备并预防交通拥堵;


故障预测与维护


利用AI进行预测性维护,通过对历史运行数据的学习和模式识别,提前发现AMHS系统的潜在故障风险,减少非计划停机时间和维护成本。

 



(二)HID无线供电技术将进一步渗透AMHS

AMHS行业,基于无线供电的物料搬运天车及其控制解决方案因取电便利、节省功耗等原因,近年来已快速渗透各晶圆制造厂,并逐渐替代有线供电解决方案。与传统的有线供电相比,无线供电技术用电设备无需连接电源线,不受距离限制,不仅避免了线路浪费和断电隐患,也提高了设备使用的便利性、可靠性和安全性。

 

非接触式供电单轨系统(HID)主要分为四部分


1、HID电盘将商业电源转换为适合进行无接触式供电的频率,再向控制线缆输送电力;

2、控制沿行走移动装置轨道铺设的特殊电缆,令该电缆周围产生磁场,以实现向移动装置的高效电力输送;

3、拾音线圈与控制电缆相对缠绕在移动装置上,接收从控制电缆磁场发来的电力;

4、受电单元稳定拾音线圈接收到的电力、向变频器及伺服驱动器等提供优质电力。

 

环球360东智自主研发的HID具有以下特点:


自主研发:采用低频率(19.2KHz)设计,避免对于RFID reader及工艺设备的干扰。

自研优势:采用Power cable(非Litz wire)来降低安装之成本及过热风险。

冗余设计:整合超级电容及双边HID供电,当一个PSP断电,OHT亦能运作,避免对生产造成传送中断。

 




如需了解环球360东智AMHS自动物料搬运系统的产品/方案详情,请致电15800956047(微信同号)环球360东智专业团队将为您量身定制专属方案。

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